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核心参数说明 介质要求： 洁净干燥无腐蚀性气体 介质种类： 空气、氮气、氩气、二氧化碳 氦气、氢气、甲烷、氧气等 量 程： 0…50/100/500/1000SCCM(每分钟标准毫升) 0…5/100 SLM(每分钟标准升) 精 度 ： 0.5% F.S. 1.0% F.S. 分辨率： 最低 0.01SCCM(每分钟标准毫升) 响应时间： ≤1S 环境条件 介质温度： 0…50℃ 工作温度： ﹣20…70℃ 工作湿度： 10%…90%RH（无结冰，无凝露） 工作压力： 0…10bar 储存温度： ﹣20…85℃ 电气参数 供电电压： DC24V，纹波 ≤50mV 功 耗： ≤3.2W（有屏幕） ≤2.4W（无屏幕） 启动时间： ≤1S 预热时间： ≤10mS 通信接口 模拟信号（电流、电压） 接口类型： D-SUB 9 针 电流信号： 4…20mA (线性对应量程) 电压信号： 1…5V (线性对应量程) 数字信号（RS485） 接口类型： RJ45和D-SUB 9 针 通信速率： 4800,9600(默认),14400,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000（可通过指令或者上位机修改） 协 议： RS485（默认 Modbus-RTU协议） 设备地址： 1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改) 最大节点数： 250 机械参数 过程连接类型： 卡套：8mm、12mm 快插：6mm，8mm 协议定制 主体材质： 接液底座：AlZnMgCu1.5/3.4365铝合金（7075航空铝） 不锈钢1.4301(不锈钢304) 不锈钢1.4435(不锈钢316L) 外壳：碳钢 密封材质： FKM 氟橡胶 重量： 铝：≈0.75kg 不锈钢：≈1.5kg
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